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8230全自动双轴晶圆切割设备
产品简介
ADT 8230是一款高效率、高精度、高性能、低使用成本的双轴(对向)全自动晶圆切割机。最大切割工件尺寸可达12英寸。
特点和优势
?灵活性-支持最大3英寸刀片。
?支持1.8KW或2.2KW大功率主轴(适用于更高要求的切割)
?使用17英寸触摸显示屏，操作界面直观
领先的应用
?硅材料晶圆/分立器件
?碳化硅晶片
?MEMS产品
?MEMS产品
?玻璃材质晶圆
?封装(QFN,LED...)
操作便利性
ADT 8230系统使用最新开发的图形用户界面(GUI), 17英寸触摸显示屏具有更好的灵活性和视觉效果。
其它重要特征
?切割效率高-大幅降低使用成本
?空气主轴
?高精度的自动刀痕检测及切割质量分析
?切割过程数据记录和统计分析
?更换刀片时锁定主轴，操作更快速、简便
?SECS/GEM通信标准
?机器维护时可触及系统的任何区域，带来维护的便利性
参数技术
?最大工作盘尺寸：外径300mm
?X轴
切割范围：310mm
进刀速度输入范围：0.1 - 600 mm/s
?Y1 / Y2轴
切割范围：310mm
单步步进量：0.0001 mm
定位精度：Within 0.002 / 310 mm；(Single step accuracy) within 0.002 / 5 mm
?Z轴
最大行程：30 mm（对应2英寸刀片）
移动分辨率：0.0001 mm
重复精度：0.001 mm
?θ轴
最大旋转角度：380 deg
?主轴
主轴类型：对向式双主轴
额定扭矩：0.33 N.m（1.8 KW）
最高回转速：6,000 - 60,000 min-1（1.8 KW）
?刀片尺寸：2"
?清洗台
旋转速度：100 - 2,000 rpm
清洗方式：二流体清洗功能
?动力规格
电气：380V AC, 50 / 60 Hz, 三相电
空气：500 L/min （@ 5.5 bar）
主轴冷却水流量：1.5 L/min
切割水流量：最大值：3 L/min
?尺寸：1,220 mm × 1,550 mm ×1,850 mm
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